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Ca掺杂对CuCrO2薄膜形成和电学特性的影响

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：heroLi1126

【摘 要】

：

采用溶胶凝胶法制备CuCrCaO2薄膜,研究不同气氛、退火温度下, Ca掺杂量对薄膜的形成和电学特性的影响.在N2环境中1 100 ℃退火, 制得CuCr1-xCaxO2 (x=0、0.01、0.03、0.05、0.07)薄膜.测量CuCrCaO2薄膜的X射线衍射, 在低浓度Ca掺杂时, 薄膜结晶良好, 晶格常数a、c和平均晶粒尺寸n随掺杂浓度上升而上升;高浓度Ca掺杂时, 有杂相生成, a、c、n重新变小, 和X射线衍射分析结果相吻合.另将3

【作 者】

：

胡冰 揣雅惠 付洋 李雅丹 沈宏志 张红 杨悦 王一丁 

【机 构】

：

吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春130012

【出 处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2014年43期

【关键词】

：

溶胶-凝胶 掺杂 旋涂 薄膜生长 退火 晶相 分层体系 Sol-gel Doping Spin coating Film growth Annealing Cr 

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采用溶胶凝胶法制备CuCrCaO2薄膜,研究不同气氛、退火温度下, Ca掺杂量对薄膜的形成和电学特性的影响.在N2环境中1 100 ℃退火, 制得CuCr1-xCaxO2 (x=0、0.01、0.03、0.05、0.07)薄膜.测量CuCrCaO2薄膜的X射线衍射, 在低浓度Ca掺杂时, 薄膜结晶良好, 晶格常数a、c和平均晶粒尺寸n随掺杂浓度上升而上升;高浓度Ca掺杂时, 有杂相生成, a、c、n重新变小, 和X射线衍射分析结果相吻合.另将3

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