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在刚刚结束的SEMICON展览期间，环球仪器展出在线晶圆增强功能GSM平台，以满足先进半导体装配的需要。这项在线晶圆增强功能对处理单-300mm规格晶圆尤其有效，同时还保留了晶圆送料器处理多种规格晶圆工艺的离线晶片扩容能力。
环球仪器在SEMICON CHINA2005展出其得意产品--GSMXS平台
【摘 要】
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在刚刚结束的SEMICON展览期间，环球仪器展出在线晶圆增强功能GSM平台，以满足先进半导体装配的需要。这项在线晶圆增强功能对处理单-300mm规格晶圆尤其有效，同时还保留了晶圆送料
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年4期
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