集成电路工艺制作的微型马达的摩擦研究

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目前已有了关于集成电路工艺制作的微型马达的摩擦与试验的报道~1.对马达工作的动态过程也作了讨论.从理论上讲,其结论~2是:摩擦效应不仅可以限制转动最高速度,而且当马达偏置在开环控制状态时,摩擦可以决定马达是以同步模式工作,还是以异步模式工作.在文献[2]中,仅作了定性的讨论.本文中,我们提出一个定量的摩擦模型来解释由实验获得的马达工作数据.模型中,首先假设摩擦力矩是恒量,并利用数值方法求解运动方程.我们把摩擦力矩当作一个修正因子处理以便与实验情况相符,但是恒定摩擦力矩模型不能解释实验中的一些现象.一个更为精确的摩擦模型必须把静态摩擦也考虑进去.这时的运动方程是: At present, there have been reports on the friction and test of a miniature motor fabricated by the integrated circuit process. The dynamic process of the motor is also discussed. Theoretically, the conclusion ~ 2 is that the friction effect can not only limit the maximum rotation Speed, and when the motor is biased in an open-loop controlled state, friction can determine whether the motor is operating in synchronous mode or in asynchronous mode. Only a qualitative discussion is given in [2]. In this paper, we propose a Quantitative friction model to explain the experimental data obtained by the motor work in the model, we first assume that the friction torque is constant and the numerical method to solve the equation of motion, we use the friction torque as a correction factor to deal with the experimental situation, but constant Friction torque model can not explain some of the phenomena in the experiment.A more accurate friction model must also consider the static friction.At this time the equation of motion is:
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