【摘 要】
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ＵｌｔｒａｔｃｈＳｔｅｐｐｅｒ等三家公司共同开发出了采用激光掺杂形成浅结和 0 1 8μｍ工艺退火相结合的混合光刻技术。在该技术中 ,不需要抗蚀剂而采用了分步·重复掺杂方法 ,并采用了激光局部照射掺杂
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ＵｌｔｒａｔｃｈＳｔｅｐｐｅｒ等三家公司共同开发出了采用激光掺杂形成浅结和 0 1 8μｍ工艺退火相结合的混合光刻技术。在该技术中 ,不需要抗蚀剂而采用了分步·重复掺杂方法 ,并采用了激光局部照射掺杂技术。在混合光刻中 ,由于是场 -场连续照射 ,所以 ,器件继续缩小 ,而
UltratchStepper three companies jointly developed a laser doping to form shallow junctions and 0 1 8μm process annealing combined with hybrid lithography. In this technique, a step-and-repeat doping method is used without a resist, and a laser local irradiation doping technique is employed. In hybrid lithography, the device continues to shrink due to field-field continuous illumination
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代表当今世界女子排球最高水平的第六届世界杯女排赛1991年11月中旬在日本举行,古巴女子排球队技压群芳,获得本届杯赛的冠军,中国队和苏联队分获第二和第三名。
The sixth
登载在1991年第3期《体育博览》插二、插四的有关介绍《世界一级方程式赛车》的专栏,图文并茂,给原本对这项运动知之不多的读者以耳目一新之感,敝人读来也颇受教益和启发。