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超导技术是开发新能源的重要技术之一。超导缓冲层是超导薄膜的重要组成部分。以有机镁[Mg(thd)2]为起始物，采用等离子强化化学气相沉积(PECVD)工艺，在玻璃、石英、不锈钢和镍衬底上制备了超导缓冲层MgO薄膜，当衬底温度≥400℃时，MgO薄膜为单一(100)晶向，具有理想的表面织构．研究了实验参数，包括射频功率和自偏压对沉积速率和薄膜性能的影响。