【摘 要】
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采用磁控溅射法制备了不同Ag含量的（TA）5T结构的TiO2/Ag组装薄膜,并研究了薄膜的结构及其性能.利用X射线衍射（X-ray diffraction,XRD）仪分析了薄膜的物相结构,扫描电子显微镜（scan
【基金项目】
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上海市科委科技基金资助项目（15JC1400303）
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采用磁控溅射法制备了不同Ag含量的（TA）5T结构的TiO2/Ag组装薄膜,并研究了薄膜的结构及其性能.利用X射线衍射（X-ray diffraction,XRD）仪分析了薄膜的物相结构,扫描电子显微镜（scanning electron microscope,SEM）观察了薄膜的表面形貌,用紫外可见分光光度计（ultraviolet-visible spectrophotometry,UV-VIS）研究了薄膜的吸收光谱,采用Keithley 2400测试了薄膜的I-V曲线,计算了薄膜的电阻率.结果表明：
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