制备SnO2薄膜时原料中水对其成膜和光电性质的影响

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用无水SnCl4和SnCl4.5H2O为原料,用热喷涂法制备SnO2薄膜,在基片温度为530℃时,对所制得SnO2薄膜进行了X-射线,SEM分析,并对其发电性质进行测定,总结出含H2O的SnCl4制得的SnO2薄膜生长速度快,电阻率低。
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