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制备SnO2薄膜时原料中水对其成膜和光电性质的影响
制备SnO2薄膜时原料中水对其成膜和光电性质的影响
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ajdujun
【摘 要】
:
用无水SnCl4和SnCl4.5H2O为原料,用热喷涂法制备SnO2薄膜,在基片温度为530℃时,对所制得SnO2薄膜进行了X-射线,SEM分析,并对其发电性质进行测定,总结出含H2O的SnCl4制得的SnO2薄膜生长速度快,电阻率低。
【作 者】
:
徐慢
袁启华
【机 构】
:
武汉工业大学新材料研究所
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
薄膜
透明导电膜
四氯化锡
二氧化锡
SnO_2 thin films
transparentelectroconductive films.tin chlor
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用无水SnCl4和SnCl4.5H2O为原料,用热喷涂法制备SnO2薄膜,在基片温度为530℃时,对所制得SnO2薄膜进行了X-射线,SEM分析,并对其发电性质进行测定,总结出含H2O的SnCl4制得的SnO2薄膜生长速度快,电阻率低。
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