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采用直流磁控溅射方法在室温下制备厚度为130nm的ITO和Ag—ITO薄膜，并在大气环境中不同温度下退火1h，测试其XRD谱和近紫外－可见光透射谱．利用（211）和（222）衍射峰求得两种薄膜的晶格常数，并分析了掺Ag和退火对ITO薄膜晶格常数、结晶度和透射率的影响．结果表明：晶格常数随退火温度的升高而减小，且掺Ag后晶格进一步收缩；两种薄膜经高温退火后在可见光段具有相近的透射率，未退火和低温退火的Ag—ITO薄膜透射率明显低于相同条件处理的ITO薄膜．