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CMP工艺参数改进
CMP工艺参数改进
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangjianfa11
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2008年11期
【关键词】
:
工艺参数
化学机械抛光
抛光过程
绝缘材料
化学试剂
关键尺寸
工艺窗口
放置位置
叠层高度
变化
体密度
容忍度
层厚度
影响
线条
图案
铜线
使用
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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