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采用反应磁控溅射法制备Er2O3薄膜，并利用X射线衍射仪（XRD），场发射扫描电子显微镜（sEM）对含He的Er2O3薄膜的结晶情况、截面和表面形貌进行表征，结果表明：无He的Er2O3薄膜在500℃退火时相结构基本保持稳定，在700℃退火时Er2O3薄膜发生明显的单斜相向立方相的转变．而含He的Er2O3薄膜的结晶度可能与He的存在形式有关．掺氦量较小时，未形成He泡，由于He的引入Er2O3薄膜的结晶度下降；随着掺氦量增加，He泡形成带来很高的内压，而在高压下Er2O3单斜相更易保持稳定．