【摘 要】
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本文通过倒筒式直流对靶溅射 (ICP)方法 ,在 3英寸范围内LaAlO3 和蓝宝石 (Al2 O3 )单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2 Cu3 Oy)高温超导外延薄膜 ,其TC0 =88～ 91K ,J
【机 构】
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本文通过倒筒式直流对靶溅射 (ICP)方法 ,在 3英寸范围内LaAlO3 和蓝宝石 (Al2 O3 )单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2 Cu3 Oy)高温超导外延薄膜 ,其TC0 =88～ 91K ,JC=1～ 5× 10 6A/cm2 ,RS(77K ,145GHz) =2 0～ 40mΩ ,双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好 ,可以满足微波器件研制的要求 .
In this paper, YBCO (YBa2 Cu3 Oy) high-temperature superconducting thin films deposited on both sides of LaAlO3 and sapphire (Al2 O3) single crystal substrates were successfully fabricated by reversible DC direct target sputtering (ICP) TC0 = 88 ~ 91K, JC = 1 ~ 5 × 10 6A / cm2, RS (77K, 145GHz) = 20 ~ 40mΩ. Both sides of the double-sided film have good uniformity and in-plane uniformity, Request.
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