【摘 要】
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本文主要讨论了对绝缘样品作俄歇电子能谱(AES)分析的几种样品处理和实验参数的选择方法,并且介绍了在PHI 550ESCA/SAM以及PHI610SAM仪器上所作的一部分实验结果。
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本文主要讨论了对绝缘样品作俄歇电子能谱(AES)分析的几种样品处理和实验参数的选择方法,并且介绍了在PHI 550ESCA/SAM以及PHI610SAM仪器上所作的一部分实验结果。
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