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用射频偏压磁控溅射法，在水冷透明聚脂胶片上制备出了附着力强的ZnO:A1（Aluminium doped Zinc Oxide,AZO）透明导电膜，膜的最小电阻率为1.11×10^－3Ωcm，薄膜的透过率高于85％，薄膜为多晶钎锌矿结构，垂直于衬底的C轴具有[002]方向的择优取向，重点探讨了薄膜的结构、光电性质与衬底所加负偏压的关系。