工艺参数对CrNx涂层膜基结合力的影响

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采用直流磁控溅射技术制备了CrNx涂层,研究了工艺参数对所制备的crNx涂层膜基结合力的影响.实验结果表明:N2含量较低时,膜基结合力较好,涂层表面光滑.只加脉冲偏压时,偏压越大,熔滴越大,表面越粗糙.
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