【摘 要】
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低导通电压的收集极朝上的Ｇｅ／ＧａＡｓ异质结双极晶体管日本ＮＴＴ研究所最近报道了一种收集极朝上的Ｇｅ／ＧａＡｓ异质结双极晶体管，这种晶体管能满足高频低功耗工作的要求。通过采用重掺杂Ｂ的Ｇｅ基区和新开发的
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低导通电压的收集极朝上的Ｇｅ／ＧａＡｓ异质结双极晶体管日本ＮＴＴ研究所最近报道了一种收集极朝上的Ｇｅ／ＧａＡｓ异质结双极晶体管，这种晶体管能满足高频低功耗工作的要求。通过采用重掺杂Ｂ的Ｇｅ基区和新开发的自对准工艺，降低了基区电阻和寄生参量，其本征基区...
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