【摘 要】
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钛酸铅陶瓷是一种优良的强热电材料。用RF溅射、磁控溅射和CVD等成膜方法能制取优质的钛酸铅膜,已用这种薄膜试制出各种性能优良的红外敏感器件。目前这些器件已在红外成像及
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钛酸铅陶瓷是一种优良的强热电材料。用RF溅射、磁控溅射和CVD等成膜方法能制取优质的钛酸铅膜,已用这种薄膜试制出各种性能优良的红外敏感器件。目前这些器件已在红外成像及红外光CT装置等领域获得应用。
Lead titanate ceramic is a kind of excellent strong thermoelectric material. High-quality lead titanate films can be prepared by RF sputtering, magnetron sputtering and CVD film forming methods. All kinds of high-performance infrared-sensing devices have been fabricated using this film. At present, these devices have been applied in the fields of infrared imaging and infrared CT devices.
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