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概述纳米技术的发展，展现纳米技术的前景，并揭示纳米技术给半导体设备产业带来新的机遇。
迎接纳米时代的到来
【摘 要】
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概述纳米技术的发展，展现纳米技术的前景，并揭示纳米技术给半导体设备产业带来新的机遇。
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2001年1期
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