【摘 要】
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纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一.稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力学性能及电学性能对于预测电子器件的失效模
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学陕西省智能机器人重点实验室,香港城市大学机械工程学院,香港城市大学深圳研究院纳米制造实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划(2017YFB1104900),国家自然科学基金(52022078,51875450),陕西省重点研发计划(2019ZDLGY01-09)。
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纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一.稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力学性能及电学性能对于预测电子器件的失效模式至关重要.本文结合目前不同纳米连接技术及连接界面的特点,对不同材料从单纳米焊接接头到宏观互连结构的电/力学性能特征进行了总结与展望,通过对互连结构焊接及变形机制、焊接强度、疲劳特性及电学性能的探讨,展现了激光诱导等离子体自限性低温焊接在未来纳米器件及柔性电子器件制造中的巨大潜力.
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