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叙述ＳＴＭ（扫描隧道显微镜）和ＡＦＭ（原子力显微镜）的主要关键技术和研制情况。在研制的ＳＴＭ和ＡＦＭ样机上，对１２００ｌ／ｍｍ光栅进行测量，得出本样机的测量重复性可达１０％以内。对研制的样机进行分析和对比后提出：ＳＴＭ和ＡＦＭ，尤其是ＡＦＭ，技术上已趋于成熟；使用上简单、方便，已达到实用化程度，可以作为高级表面粗糙度测量的常用计量仪器。