【摘 要】
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Doping can improve the band alignment at the metal-semiconductor interface to modify the corresponding Schottky barrier,which is crucial for the realization of
【机 构】
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Hunan Key Laboratory of Super-microstructure and Ultrafast Process, School of Physics and Electronic
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Doping can improve the band alignment at the metal-semiconductor interface to modify the corresponding Schottky barrier,which is crucial for the realization of high-performance logic components.Here,we systematically investigated a convenient and effective method,ultraviolet ozone treatment,for p-type doping of MoTe2 field-effect transistors to enormously enhance the corresponding electrical performance.The resulted hole concentration and mobility are near 100 times enhanced to be ～ 1.0 × 1013 cm-2 and 101.4 cm2/(V·s),respectively,and the conductivity is improved by 5 orders of magnitude.These values are comparable to the highest ones ever obtained via annealing doping or non-lithographic fabrication methods at room temperature.Compared with the pristine one,the photoresponsivity (522 mA/W) is enhanced approximately 100 times.Such excellent performances can be attributed to the sharply reduced Schottky barrier because of the surface charge transfer from MoTe2 to MoOx (x＜ 3),as proved by photoemission spectroscopy.Additionally,the p-doped devices exhibit excellent stability in ambient air.Our findings show significant potential in future nanoelectronic and optoelectronic applications.
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