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介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链，使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积，并具有较高的刚度，可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明，该系统的轨迹跟踪误差均低于0.5!mm。
平面二自由度并联执行机构的设计与实现
【摘 要】
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介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链，使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积，
【机 构】
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国防科技大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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国防科技大学学报
【发表日期】
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2001年1期
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空时自适应处理（STAP）权值计算有数据域和均方域两种方法，分别以QR分解和样本协方差矩阵求逆（SMI）方法为代表。QR分解方法可以映射到脉动阵上并行实现，但实现复杂且设计成本较高；SMI