纳米级微动试验台的隔振设计及仿真实验

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通过二维隔振系统的力学分析,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结构,用以指导多自由度隔振系统的设计.设计出纳米级微动试验台的隔振系统.仿真实验表明,该系统具有良好的隔振效果.此隔振设计方法对超精密机床、超微定位机构等超低传递率隔振设计有一定的参考价值.
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