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纳米级微动试验台的隔振设计及仿真实验
纳米级微动试验台的隔振设计及仿真实验
来源 :南京航空航天大学学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yyyypolo
【摘 要】
:
通过二维隔振系统的力学分析,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结构,用以指导多自由度隔振系统的设计.设计出纳米级微动试验台的隔振系统.仿真实验表明,该系统具有良好的隔
【作 者】
:
吴晓琳
刘平成
杨圣
杨晓红
【机 构】
:
南京航空航天大学机电学院
【出 处】
:
南京航空航天大学学报:英文版
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
纳米
微动试验台
隔振
仿真
传递率
nanometer (NM)
micro vibration testbed
isolation of vibration
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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通过二维隔振系统的力学分析,得到关于质量、刚度、阻尼比三方面结构,用以指导多自由度隔振系统的设计.设计出纳米级微动试验台的隔振系统.仿真实验表明,该系统具有良好的隔振效果.此隔振设计方法对超精密机床、超微定位机构等超低传递率隔振设计有一定的参考价值.
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