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PECVD 在玻璃底层上准备的非结晶的硅电影被退火的常规炉子并且快速的热退火(RTA ) 分别地使结晶。夫罗姆塞·拉曼系列， X 光检查衍射和扫描电子显微镜，谷物尺寸在两种技术在 850 ℃被使结晶，这被发现。RTA 做的薄膜是光滑的并且完成式组织，薄膜由 FA 退火了有高度结构的混乱。大约 30 nm 的一种平均谷物尺寸被两种技术获得。