【摘 要】
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双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之-.根据铌溅射处理装置的技术要求, 研制了-套输出电压0~8 0 0V可调、 脉冲宽度2 0~2 0 0μ s可调、 频率0~6 0H z可调、 脉冲电
【机 构】
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中国工程物理研究院流体物理研究所,北京大学物理学院
【基金项目】
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国防基础科研项目（B1520132002）
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双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之-.根据铌溅射处理装置的技术要求, 研制了-套输出电压0~8 0 0V可调、 脉冲宽度2 0~2 0 0μ s可调、 频率0~6 0H z可调、 脉冲电流最大幅值约1 5 0A的双极性脉冲电源, 分别给出了该电源在水电阻负载和等离子体负载下的实验结果.设计上采用D S P控制开关电源的方式对储能电容器进行恒流充电; 综合应用F P GA, P L C及触摸屏组成人机交互系统, 控制输出光脉冲信号, 经负压偏置驱动后使桥式结构的脉冲形成网络产生正负交替双极性脉冲.通
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