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介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状.给出LIGA技术在微驱动器中的应用.
LIGA技术及其在微驱动器中的应用
【摘 要】
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介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状.给出LIGA技术在微驱动器中的应用.
【机 构】
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浙江工业大学机电工程学院
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2002年3期
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