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描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法．针对微针的实际使用要求，对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟．结果表明，所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行皮肤注射，且适于进行药剂的微量传输．
新型MEMS微针设计及其力学性能
【摘 要】
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描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法．针对微针的实际使用要求，对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟．结果表明，所设计的三种微针的强
【机 构】
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西安交通大学理学院光信息科学与技术系,上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2007年1期
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