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快速热退火提高应变InAs/InP量子阱结构的晶体质量
快速热退火提高应变InAs/InP量子阱结构的晶体质量
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whlibb2
【摘 要】
:
研究了快速热退火对应变InAs/InP单晶子阱结构光学性质的影响。样品经最佳条件700℃,5s的快速热退火,8K温度下量子阱的荧光强度地加了4倍,量子阱荧光峰仅蓝移1.5meV。
【作 者】
:
邢启江
章蓓
【机 构】
:
北京大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
半导体
量子阱结构
快速热退火
火荧光
晶体质量
s:Semiconductor Technology
Quantum Well Structures
Rapi
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研究了快速热退火对应变InAs/InP单晶子阱结构光学性质的影响。样品经最佳条件700℃,5s的快速热退火,8K温度下量子阱的荧光强度地加了4倍,量子阱荧光峰仅蓝移1.5meV。
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