【摘 要】
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介绍了微结构光学元件在很多领域的应用,比如军事、医药生物研究及其他民用行业等.这种微结构光学元件为光学设计者与制造者提供了更多的自由度.讨论了微结构光学元件的多种
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介绍了微结构光学元件在很多领域的应用,比如军事、医药生物研究及其他民用行业等.这种微结构光学元件为光学设计者与制造者提供了更多的自由度.讨论了微结构光学元件的多种制造方法,包括光刻技术、LIGA技术、模压成型技术、注射成型技术、热压成型技术以及金刚石机械加工技术,每种方法在加工精度、效率以及是否适合加工大深宽比结构等方面都有其自身的优点与缺点,将各种复制技术与机械加工技术结合起来,是将来的发展方向.
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