【摘 要】
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当激光应用于集成电路加工和元件的退火处理等方面时,通常要求均匀强度的宽剖面的光束输出。但是,通常的激光器输出为高斯光束(基模).因而研究如何实现高斯剖面光束到均匀强度分布
【机 构】
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当激光应用于集成电路加工和元件的退火处理等方面时,通常要求均匀强度的宽剖面的光束输出。但是,通常的激光器输出为高斯光束(基模).因而研究如何实现高斯剖面光束到均匀强度分布光束的转换,具有重要的应用意义,即所谓的光束整形.同其它的整形方法相比,利用衍射相位?
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