【摘 要】
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目前，光学检查设备AOI已经成为TFT-LCD行业主要的微观缺陷检查设备，并大量应用到各工艺检查单元。随着全球面板产业竞争的加剧，产线和产品的智能化、高效化需求日渐剧增，但各个工序的检测设备维度往往不唯一，这为设备间数据的流通和统一造成障碍，为解决此类问题，该文基于JMP的数据预测和分析功能，对设备参数进行优化和重新设计，并对新参数进行ROC验证，验证结果达到预期。同时为Cell自动化监控和反馈机
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目前，光学检查设备AOI已经成为TFT-LCD行业主要的微观缺陷检查设备，并大量应用到各工艺检查单元。随着全球面板产业竞争的加剧，产线和产品的智能化、高效化需求日渐剧增，但各个工序的检测设备维度往往不唯一，这为设备间数据的流通和统一造成障碍，为解决此类问题，该文基于JMP的数据预测和分析功能，对设备参数进行优化和重新设计，并对新参数进行ROC验证，验证结果达到预期。同时为Cell自动化监控和反馈机制的建立提供理论和数据支持。
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