【摘 要】
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用平均模型确定了多晶PZT铁电薄膜的有效模量,结果表明晶粒的取向程度对薄膜的压电常数和介电常数有重要的影响,不同的取向因子对应不同的压电常数和介电常数。
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用平均模型确定了多晶PZT铁电薄膜的有效模量,结果表明晶粒的取向程度对薄膜的压电常数和介电常数有重要的影响,不同的取向因子对应不同的压电常数和介电常数。
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