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本文提出了一种利用差示光谱测定硅中氧、碳含量的方法.对于该方法的误差进行了讨论.
差示光谱法测定硅中的氧和碳
【摘 要】
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本文提出了一种利用差示光谱测定硅中氧、碳含量的方法.对于该方法的误差进行了讨论.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1981年02期
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