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采用双偏压辅助热丝-等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜。采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形貌、粗糙度、内部结构等的影响。结果表明，热丝温度降低，所形成薄膜的晶粒尺寸变大，薄膜表面高低起伏较大，粗糙度也随之增大；随着射频输出功率的增大，等离子体轰击基底的能力增强，但过大的功率会使构成薄膜的晶粒变大；随着偏压的不断增大，氢离子体对薄膜表面的刻蚀程度逐渐增大，从而有利于形成纳米金刚石薄膜。