【摘 要】
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本文介绍一种用立体电子显微术测量超光滑表面粗糙度的方法,并进行了实验。对其理论依据、误差、复制品的复制,以及整个测量过程都作了详细分析说和明。在前言中,对目前采用
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本文介绍一种用立体电子显微术测量超光滑表面粗糙度的方法,并进行了实验。对其理论依据、误差、复制品的复制,以及整个测量过程都作了详细分析说和明。在前言中,对目前采用的各种测量超光滑表面的方法可达到的精度进行了简单的对比,指出了此方法的垂直和横向分辨力可达到10A左右。
This article describes a method of measuring ultra-smooth surface roughness using stereoscopic electron microscopy and experiments. The theoretical basis, error, duplication of copies, as well as the entire measurement process are analyzed in detail and said. In the foreword, a simple comparison of the achievable accuracy of various currently used methods of measuring super-smooth surfaces is presented, pointing out that the vertical and horizontal resolution of this method can reach about 10 A.
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