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介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型。
基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究
【摘 要】
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介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型。
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院、武汉国家光电试验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年01期
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