【摘 要】
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热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法,与其它方法比较,热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、薄膜生长各阶段的特征等方面的基础研究及各
【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法,与其它方法比较,热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、薄膜生长各阶段的特征等方面的基础研究及各种应用研究上有其独特的优越性.木文采用热丝法在SiC晶须增强Si_3N_4.陶瓷、AIN陶瓷、Si单晶片、Cu片、Mo片等基材上沉积出金刚石薄膜,并通过TEM和SEM进行观察,分析和研究了影响金刚石薄膜沉积的因素.
Hot wire method is a relatively mature gas-phase synthetic diamond film method, compared with other methods, hot-wire method in the process parameters on the structure and quality of diamond films, the interface formation, the characteristics of the film growth stages Basic research and various applied research have its unique superiority.Wood paper using hot wire method in the SiC whisker enhanced Si_3N_4 ceramics, AIN ceramics, Si monocrystalline, Cu, Mo and other substrates deposited on the diamond film , And observed by TEM and SEM, analyzed and studied the factors that affect the diamond film deposition.
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