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采用溶胶-凝胶法在石英玻璃片衬底上制备了Mg^2＋掺杂的ZnO（MgxZn1-xO）薄膜，研究了Mg^2＋掺杂对ZnO薄膜结构和紫外透过率的影响；在氧化物薄膜上真空蒸镀了A1叉指电极，制得紫外原型探测器件，测试了FV特性。结果表明，Mg^2＋掺杂后，MgxZn1-xO薄膜为纤锌矿结构，随着x值增加，晶格常数C逐渐减少，a逐渐增大，Mg^2＋掺杂抑制了（002）晶面的生长；紫外透过光谱表明，Mg^2＋掺杂后吸收边发生蓝移，可提高ZnO薄膜的禁带宽度；FV特性曲线表明，正向偏压下探测器的暗电流和光照电流随外加