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建立了一套直流放电产生氮气等离子体装置，该装置以碳纳米管修饰 ITO 电极为阳极，铝平板为阴极，两极间距～80μm。在室温低电压（低于150 V）对氮气进行气体放电，利用发射光谱法对氮气放电过程中的活性物种进行了诊断研究。在直流电压下，观测到氮气发射光谱中能量最强最清晰的谱带 N2（C 3Πu ），强度比较弱的 Gaydon’s Green 带系 N2（H 3Φu-G3Δg ），以及820 nm 附近氮原子的发射谱线（4p-4 p 0），发现氮分子的亚稳态是导致一系列激发态氮原子和氮气电离的主要因素，与交