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在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,采用闭环PID主动控制系统,用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果,该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域.