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以硝酸锌水溶液为电沉积液，采用两步法电沉积技术在ITO导电玻璃上电沉积出透明致密的ZnO薄膜。利用电势-pH计算和循环伏安实验得到适宜的溶液pH值和电沉积电势，采用X射线衍射、热重一差热、光致发光谱和透射光谱对ZnO薄膜的结构、组成和光学性能进行了袁征。结果表明，所制备的ZnO薄膜在C轴方向上具有高度的择优取向性质，平均粒径为纳米级，性能稳定、单一，发光性能良好，可见光区透射率较高。此类产品在太阳能电池和光电子器件等光学材料方面具有很高的应用价值。