【摘 要】
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在H_2、N_2和TiCl_4蒸气气氛中,用直流等离子体化学气相沉积法,在塞规上沉积TiN涂层的应用进行了研究,结果表明: ①等离子体化学气相沉积TiN工艺适用于塞规的镀膜。膜层厚度
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在H_2、N_2和TiCl_4蒸气气氛中,用直流等离子体化学气相沉积法,在塞规上沉积TiN涂层的应用进行了研究,结果表明: ①等离子体化学气相沉积TiN工艺适用于塞规的镀膜。膜层厚度均匀性好。镀膜的塞规不需要任何镀后处理。几何形状完全符合精度要求,镀后的塞规可以直接投入使用。②在用45~#钢制造的塞规上,用直流等离子体化学气相沉积法镀1μm的TiN涂层,可以比工具钢经淬火制造成的塞规提高使用寿命5倍以上。
In the H_2, N_2 and TiCl_4 vapor atmospheres, the application of TiN coating deposited on plug gauges by DC plasma chemical vapor deposition was studied. The results show that: (1) plasma chemical vapor deposition (TiN) is suitable for the coating of plug gauges . Film thickness uniformity is good. Coated plugs do not require any post-plating treatment. Geometrical shapes fully meet the precision requirements, plated plug gauge can be put into use directly. ② In the plug gauge made of 45 ~ # steel, DC plasma CVD coating of 1μm TiN coating can be hardened than the tool steel stopper plug to improve service life of 5 times or more.
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