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在相似剖分有限元方法的基础上，结合硅基微波共平面传输线的特点，采用混合相似剖分技术，对这种长度为毫米级的悬浮传输线的特性阻抗进行了数值分析，主要讨论了刻蚀工艺的变化对其特性阻抗的影响。
硅基微机械微波传输线特性阻抗的数值分析
【摘 要】
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在相似剖分有限元方法的基础上，结合硅基微波共平面传输线的特点，采用混合相似剖分技术，对这种长度为毫米级的悬浮传输线的特性阻抗进行了数值分析，主要讨论了刻蚀工艺的变化对其
【机 构】
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华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家 973项目!《集成微光机电系统研究》,,国家自然科学基金项目!《微机械微波微型元件与电路研究》,,上海应用材料研究与发展基金项目
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