【摘 要】
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为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型Φ200mm口径长焦距准直干涉测试装置。该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距
【机 构】
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成都太科光电技术有限责任公司,成都精密光学工程研究中心
【基金项目】
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国家重大科学仪器设备开发项目(No.2016YFF0101900).
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为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型Φ200mm口径长焦距准直干涉测试装置。该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距准直测试原理对凹球面大曲率半径光学元件进行面形精度检测,最大测试口径为Φ226.67mm,且球面标准镜和球面标准反射镜同轴共球心,大幅度减小了测试空腔距离。结果表明,该系统空腔测试精度PV值为0.097λ@632.8nm,RMS值为0.013λ@632.8nm,系统重复稳定性优于λ/500@632.8nm,可实现曲率半径为7500~8500m
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