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介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法,详细阐述了硅压阻式加速度传感器3028的补偿方法,给出了实验数据.该补偿方法使用元器件少,补偿简单,具有很强的实用性.
压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究
【摘 要】
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介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法,详细阐述了硅压阻式加速度传感器3028的补偿方法,给出了实验数据.该补偿方法使用元器件少,补偿简单,具有很强的实用性.
【机 构】
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教育部仪器科学与动态测试重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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