PDP制造中的曝光技术研究

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【摘要】

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在分析PDP曝光特点的基础上, 提出了PDP曝光台的设计原则, 说明了PDP曝光时的照度分布调整方法以及校正透镜的原理、作用和加工方法, 对使用光量计精确控制曝光量以及曝光台

【作者】

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卜忍安张军张劲涛

【机构】

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西安交通大学电子物理与器件研究所

【出处】

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液晶与显示

【发表日期】

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2001年3期

【关键词】

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PDP 曝光台照度分布感光域

【基金项目】

：

国家“九五”攻关项目资助

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在分析PDP曝光特点的基础上, 提出了PDP曝光台的设计原则, 说明了PDP曝光时的照度分布调整方法以及校正透镜的原理、作用和加工方法, 对使用光量计精确控制曝光量以及曝光台超高压水银灯的特点、作用和选择作了详细介绍. 介绍了曝光工艺中利用光量计确定感光材料界限曝光量的原理和方法, 最后对PDP丝网曝光工艺作了简要介绍.

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