【摘 要】
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人们对工具钢、高速钢及硬质合金等工具涂覆硬层的需求正日益增长,作为其工艺手段之一的化学汔相沉积(chemical vapor deposition,以下简称CVD)涂层正被广泛地也用。由于CVD
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人们对工具钢、高速钢及硬质合金等工具涂覆硬层的需求正日益增长,作为其工艺手段之一的化学汔相沉积(chemical vapor deposition,以下简称CVD)涂层正被广泛地也用。由于CVD涂层薄而硬,具有一定的润滑特性,所以能改善工具的工作性能,降低加工时的摩擦系数。本文是美国Scientific Coating
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