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有机发光显示器件是目前平板显示中的热点，所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求。该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺，得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时，较好的气氛是低氩微氧，功率约200W左右，溅射时基板温度约250℃，高温无氧退火。得到方阻20Ω以下、平均透过率大于80％的ITO玻璃。