【摘 要】
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一、引言用活性等离子体制备多样的、具有明显不同性质纯的和合金炭,有着重大的意义,除制备常规的石墨型外,PECVD法(等离子体增强化学气相沉积),制备的氢化无定形炭(α-C:H)
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一、引言用活性等离子体制备多样的、具有明显不同性质纯的和合金炭,有着重大的意义,除制备常规的石墨型外,PECVD法(等离子体增强化学气相沉积),制备的氢化无定形炭(α-C:H)和金刚石类晶体。应用射频(RF)等离子工艺技术,我们已制备了氢化无定形炭(α-C:H)并且把N掺杂进去。在这些氮化了的炭(α-C:N:H)里,我们加入了额外的π电子,增大了SP~2和SP~1键与通常由氢含量稳定的SP~3键的比值;可
I. INTRODUCTION It is of great significance to prepare a variety of pure and alloyed carbons with obviously different properties by active plasma. In addition to the conventional graphite type, PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), hydrogenated amorphous Carbon (α-C: H) and diamond-based crystals. Using radio frequency (RF) plasma process technology, we have prepared hydrogenated amorphous carbon (α-C: H) and doped N into it. In these nitrided carbons (α-C: N: H), we added extra π electrons, increasing the ratio of the SP ~ 2 and SP ~ 1 bonds to the SP ~ 3 bonds, usually stabilized by the hydrogen content ;can
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