Pd／SnO2／SiO2／Si集成薄膜的结构与气敏性能

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dreamrain1220

【摘要】

：

采用磁控溅射技术制备Pd／SnO2／SiO2／Si集成薄膜．研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响，进而测试了相关的气敏性能．实验证明，经过氧化性退火处理，集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm

【作者】

：

王磊杜军毛昌辉杨志民熊玉华

【机构】

：

北京有色金属研究总院先进电子材料研究所

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

SNO2 PD 薄膜溅射气体敏感 SnO2 Pd thin film sputtering gas sensitivity

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用磁控溅射技术制备Pd／SnO2／SiO2／Si集成薄膜．研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响，进而测试了相关的气敏性能．实验证明，经过氧化性退火处理，集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右，形成Pd／SnO2／SiO2／Si结构，SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶．气敏测试表明，Pd／SnO2／SiO2／Si集成薄膜在低温区对H2、CH4、CO和C2H5OH敏感性较高，另外，随着H2气体浓度的增加，相应灵敏度从35递增至73．5．

其他文献

一种自动冲水控制装置的开发和应用

介绍光电被动感应控制开关模块工作原理,研究开发了一种基于被动感应控制原理的自动冲水控制装置,总结比较了主动感应控制与被动感应控制的优缺点及其应用特点.

期刊

主动感应控制被动感应控制自动冲水控制装置开关模块工作原理active inductance control passive inductance c

小波神经网络在农药荧光光谱识别中的应用

对于结构非常相似的农药，它们的荧光光谱也非常相似并且在很宽波长范围内相互重叠。传统的荧光光谱分析法很难对其进行分类识别。一种基于小波分析而构造的新型神经网络——小

期刊

小波神经网络荧光光谱光谱识别农药wavelet neural network fluorescence spectrum spectral reco

吸收式光纤甲烷气体传感器的研究

研究和讨论了一种易于实现的光谱吸收型光纤甲烷传感器 .该传感器基于比尔 -朗伯定律 ,采用双光路结构 ,大大提高了传感器的灵敏度和测量精度 .大气和工业污染中的其它气体分子浓度也可用类似方法测量

期刊

光纤传感器气体传感器甲烷optical fiber sensor absorption methane double optical circuit

同步采样时统卡的WMD驱动程序设计

WDM是Windows平台下新一代的驱动程序模型.本文介绍了用Numega DriverStudio开发WDM设备驱动程序的流程和步骤,简述了驱动程序的生成,调试和安装的方法.针对基于ISA总线的时

期刊

NumegaDRIVERSTUDIOISA总线WDM设备驱动程序Numega Driver Studio ISA bus WDM device

小波分析在故障监测及诊断中的应用

简要分析了小波变换的二尺度特性，对小波变换模极大值表征信号奇异性的原理进行了讨论，并给出了它在故障监测及诊断中应用的实现方法和实验结果.

期刊

小波变换故障监测故障诊断机械故障wavelet transform fault monitor and diagnosis singularity

微弱信号检测中Duffing方程的改进

将外界信号作为系统周期激励的补充而引入正处于混沌态的Duffing振子系统,利用混沌系统对噪声的免疫力以及对小信号的敏感性,根据系统从混沌到有序的相变而检测出比较微弱的

期刊

混沌振子Duffing方程改进弱信号检测

相关证据的融合及其在机器人多感觉信息融合中的应用

Ｄ－Ｓ证据理论在多信息融合中的应用要求各证据间相互独立，这在很多实际场合中却很难实现。本文简要地阐述了基于Ｄ－Ｓ证据理论的多传感器信息融合算法，提供了一种基于Ｄ－Ｓ理论的推广方法以理

期刊

相关证据信息融合机器人多感觉dependent evidence data fusion D-S evidential reasoni

冲击载荷下BGA焊点应有限元模拟

从动力学角度分析了PBGA组件在高加速度冲击载荷下的响应．采用解析法与有限元分析相结合的方式考察了PBGA组件的结构参数和材料特性等因素对焊点应力的影响，并运用参量分析法比

期刊

焊点冲击应力参量分析ANSYSsolder joint shock stress parametric analysis ANSYS

Pd／SnO2／SiO2／Si集成薄膜的结构与气敏性能

其他学术论文