【摘 要】
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为实现一种直流电机驱动的亚微米级运动平台的设计,并尽量减小其运动误差,采用 Simulink-M 文件混合仿真的方法,结合 Stribeck 摩擦模型,探讨运动平台丝杠、同步带的相关结构
【机 构】
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中南大学高性能复杂制造国家重点实验室,中南大学信息工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50975293）,中南大学研究生自主探索创新项目（2016zzts290）
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为实现一种直流电机驱动的亚微米级运动平台的设计,并尽量减小其运动误差,采用 Simulink-M 文件混合仿真的方法,结合 Stribeck 摩擦模型,探讨运动平台丝杠、同步带的相关结构、精度参数对运动平台精度的影响.通过分析并针对实际使用的要求,进行平台最优结构设计.使用EMAC200控制器和XL一80激光干涉系统对运动平台进行实际测试.研究结果表明：运动平台误差主要受丝杠导程、同步带传动比及它们精度的影响;随着导程减小,传动比增大,精度提高,稳态误差呈减小趋势;当行程为1 mm时,稳态误差在±
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